对于这些不同类型的干式真空泵，我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾，因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然，还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素，那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高它的转速。而想要改变真空泵的转速有两种方法，一是改变电源的频率，即采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中，采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制，但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法，当然，它只能提供不可控的单一转速。 

     现在，可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计，同多级泵如圆裂片式，爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。首先，它增强了泵的可靠性。干式泵不像油密封泵那样受到水蒸气或者尘粒的影响，因此它们更耐用，所需的维护工作更少。减少用油量还意味着减少了认真处理油而花费的成本。使用干式真空泵还使可能的污染减到最小程度，这种污染既可能出现在油里——影响了泵的性能，也可能出现在某些极端的情况下，例如在最终产品中。 
    要想成功地更换现有的基于油的真空泵系统，关键是要找到针对特定应用的最合适的解决方案。为了看一下可以受益的不同类型的应用，下面介绍四种不同的工业生产过程，以及它们使用干式真空泵的主要好处有哪些。 
      大部分用户是制药公司，它们需要用设备进行生物分析，对药物予以鉴定以进行临床试验。干式真空泵解决方案更好地确保了高精度测量，这对于某些机构来说是必不可少的，这些机构必须满足美国食品和药物管理局（FDA）以及其他一些国家部门所制定的规章制度。通过使用干式真空泵，消除了污染的危险。
    综上，它们的应用日益增加的原因很清楚，因为它们可靠、耐磨、易于维护，给结果带来重大的好处。例如在滚动喷涂行业里，该环境中所用的一台油密封真空泵每年的维护费用大约是一台新泵成本的40％。干式泵使正常工作时间更长，并且由于它们具有可重复性，所以使生产的产量更高，节约了成本。该技术不仅安全，而且它的设计使其即使在颇为苛刻的工作环境中也能够无故障的工作。