停泵时，泵出口的空气压力会使泵反转，将泵油返到真空室中。因此，需要特殊的阀门，设置在泵的入口处，在泵停止工作的，将泵和真空室隔开。这种保护阀通常是电磁放气阀。当电机断电时，电磁阀靠大气与泵入口的压差关闭泵与真空室之间的通道，同时向泵入口放大气。泵启动时，电磁阀阀板放开，使泵入口与真空室连通，对真空室抽空。在有些旋片真空泵中，泵入口内设置有空气隔离阀，起到上述电磁放气阀的作用。这时，泵入口管路上无需再设置放气阀了。旋片真空泵在工作时，油蒸气会逆着气流方向进入泵入口管道，通过管路更终进入被抽容器。油蒸气的返油量随压力的降低而增加，在泵极限压力附近达到更大，返流油蒸气主要是泵油中的轻馏分。

1、在泵入口管路上设置放气阀，使泵入口压力维持在10Pa或更高，这样才可以减少返流98%。
2、对于单级旋片真空泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵的返流。
3、在泵入口设置吸附阱，依靠依附剂吸附返流油蒸气。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸气。这种吸附阱需要定期更换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4、使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但价格较贵，因此难以广泛使用。
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