最初的真空计是由托里拆利制作的一端封闭充满水银的细长玻璃管发明的。根据测量的真空度范围和使用环境，现在最常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。


 
　　这几种真空计利用了不同的物理现象，其中电容式隔膜真空计利用的是力，热电偶真空计利用的是热传导，电离真空计利用的是真空放电。


　　选用真空计时应该注意以下事项：


　　一：在设备要求的压强范围内，真空计是否有足够的测量精度；


　　二：被测气体是否会对真空计造成损伤；


　　三：真空计是否会对被测真空环境造成影响；


　　四：真空计所测压强是全压还是分压，是否已校准，是否与气体种类有关；


　　五：真空计能否实现连续测量，数值指示及反应时间如何；


　　六：真空计的稳定性、可靠性、寿命。