活塞式无油真空泵技术要求不太复杂，容易制造，其结构示意图见图 24 。

　　图24：活塞式无油真空泵示意图

　　该泵的外形呈扁方形，是由四个阶梯形活塞及四个阶梯形气缸组成。与电机直联的轴通过四根连杆带动四个活塞。活塞的背面空间由次级活塞抽气，以减少泄漏和降低极限压力。

　　每个气缸都有进气阀与排气阀。四个活塞组成三个压缩级，为了增加抽速，活塞 1 和活塞 2 是并联的，为了便于泵在大气压力下的启动，设置了辅助排气阀 1 ，当活塞 l 、 2 的排气压力高于大气压力时，有一部分气体通过阀 1 排入大气，当其排气压力低于大气压力时，则排出气体依次进入第三个、第四个气缸压缩后排出泵外。泵的压缩比可达到 105 ，泵的极限压力可达 1.3Pa 。

　　泵气缸的内表面衬有聚合材料，以降低摩擦系数与磨损。这种泵的功率消耗低，散热条件较好，不需要冷却水。