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干式真空泵有那些特点

点击:1943 日期:2019-01-09 选择字号:

       干式真空泵是将来行业开展的趋向,固然如今用的还不多,除了价钱高缘由外,还有用户对干式真空泵的理解不到位,看不到带给企业的将来经济效益,小编在这里着重讲下干式真空泵怎样停止优化选择?关于这些不同类型的干式真空泵,我们都盼望可以将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾,由于真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺寸小意味着容积也小。当然,还有一个影响真空泵的抽气速率的重要要素,那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配,就需求进步它的转速。而想要改动真空泵的转速有两种办法,一是改动电源的频率,即采用变频器;二是改动齿轮箱的传动比。其中,采用变频器的益处是能够提供一个闭环控制,但在大负载下容易惹起扭距的损失。而改动齿轮箱的传动比是一种十分经济的办法,当然,它只能提供不可控的单一转速。

      目前真空行业运用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、光滑等多种作用。随着科学技术的开展以及真空应用范畴的扩展,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统呈现了两个急需处理问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多状况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护本钱。其次,由于某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严重蜕变,使泵不能正常工作。关于普通的无油真空系统来说,固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流,但不能彻底处理问题,而且使系统显得复杂。而运用恰当型式的干式真空泵,则能够到达理想的运用效果干式真空泵的应用是普遍的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相堆积中的多晶硅制备工艺中
2)半导体刻蚀工艺。在这些消费工艺中常常用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵能够满足请求
4)用做普通无油清洁真空系统的前级泵,以避免油污染
5)在化学工业、医药工业、食 品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等,要避免有机溶剂形成污染,合适用干式真空泵。

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