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干式真空泵特点分析

点击:974 日期:2018-11-27 选择字号:

近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比 ( 单级压缩比 ) 。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比 ( 指单级压缩比 ) 。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

无油干式真空泵的特点:   
1、在使用真空,排气的场合也不含有油份,不会像油式真空泵那样对作业环境或制品造成污染,能够在各个领域使用。   
2、与油式真空泵相比,不需要给泵加油,基本不需要点检和检修。  
3、运费声音低,使用寿命长。同时装备有真空压力表,调压控制器。   
4、由于使用了特殊的自润滑碳精片,具有很强的耐磨性。   
5、由于能够高速运转,因此可以与电机直连。这样可使泵小型化。   
6、由于多枚滑片的高速回转,可使脉动很小,吸排气稳定。   

目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。
干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1) 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2) 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3) 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4) 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5) 用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
在医药化工生产过程中,涉及大量的真空分离过程,如有机溶媒的真空粗回收或低真空回收、高沸点热敏性物料的高真空蒸馏、去除固体杂质的真空过滤、粉状中间体或产品的真空干燥等,均要用到真空获得设备-真空泵。真空泵的合理选择和配置对真空分离过程的优化具有至关重要的意义。随着GMP和ISO14001环境管理体系及OHSAS18001职业健康安全管理体系的推进实施,高效、节能、降耗、安全、环保在医药化工生产中已成为主旋律,与此相适应,医药化工领域的设备选择和配置也面临着新的更高的要求。本文着重就无油真空泵在医药化工清洁生产中的实践应用作一粗浅的阐述。

此文关键词: 无油真空泵丨干式真空泵

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