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如何理解真空机组与真空系统

点击:1820 日期:2019-09-10 选择字号:
  真空机组是由真空泵、各种管路、集成传感器、真空表、测量装置、电气控制系统等一系列的配套真空辅助设备构成,根据主泵的类型来命名,以真空应用范围分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。
真空机械手
 1)低真空机组一般采选直排大气型的真空泵,如容积式的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等,低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。
 2)中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆无油真空泵广泛使用,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。
 3)高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵为主,如遇低温冷凝泵无法直接在大气下工作,需配置前级泵、预抽泵等,为防止气压波动还配置维持泵与储气罐等。
 4)超高真空机组压力区间在10-6~10-10Pa,主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上,压力区间内保证相应的抽速,对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率。
真空负压站
 真空机组系统是对真空机组中关键参数如"真空度(负压或增压)"、"流量"等数据进行实时监测、自动调整,如完成"真空保压"、"自动定时停机、启动"、定时定量"真空抽滤"等的功能性控制系统称为真空系统。
 真空机组与系统作为实现智能自动化的一种手段,己在电子、半导体元件组装、汽车组装、自动搬运机械、轻工机械、医疗机械、印刷机械、塑料制品机械、包装机械、锻压机械、机器人等许多方面得到广泛的应用。
无油真空泵
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