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图表详解干式真空泵性能特点

点击:51 日期:2019-09-04 选择字号:
无油干式机械真空泵 ( 以下简称干式真空泵 ) 是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式机械真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。下面台冠真空泵技术团队工程师们,给大家分享图表详解干式真空泵性能特点.希望能够给大家带来帮助.

干式真空泵
   目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。
      1.接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比 ( 单级压缩比 ) 。
      2. 非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比 ( 指单级压缩比 ) 。不同类型的干式泵具有各自的特点。详见下表
                                          干式真空泵的性能特点列表

型式

极限压力(hPa

出口对大气压时压缩比

价格

附注

空气喷射泵

几个

1000

便宜

驱动气体耗量大

膜片泵

5

200

便宜

膜片合成胶制成,耐磨 蚀,寿命低

波纹管密封摇头泵

SRI

1

100010000

昂贵

 

石墨旋片泵

50

20

低廉

H2时石墨滑片易裂解

罗茨泵

<1×103多级

35

/

齿轮箱有油

气体轴承涡轮分子泵(Maurice

1010

1013

昂贵

对灰尘敏感

磁悬浮涡轮分子泵

109

不能直排大气

昂贵

对磁场敏感

吸附泵

103

便宜

限于实验用

涡旋泵

<1×103多级

100010000

昂贵

安全可靠(UF6氚)

Evrard

102

105

抽速和膜片寿命受限

波纹管密封活塞泵

50

20

 

螺杆泵

102

105

中等


台冠无油真空泵
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