图表详解干式真空泵性能特点
1.接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比 ( 单级压缩比 ) 。
2. 非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比 ( 指单级压缩比 ) 。不同类型的干式泵具有各自的特点。详见下表
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型式 |
极限压力（hPa） |
出口对大气压时压缩比 |
价格 |
附注 |
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空气喷射泵 |
几个 |
1000 |
便宜 |
驱动气体耗量大 |
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膜片泵 |
5 |
200 |
便宜 |
膜片合成胶制成，耐磨 蚀，寿命低 |
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波纹管密封摇头泵 （SRI） |
1 |
1000～10000 |
昂贵 |
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石墨旋片泵 |
50 |
20 |
低廉 |
抽H2时石墨滑片易裂解 |
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罗茨泵 |
<1×10－3多级 |
3～5 |
中/低 |
齿轮箱有油 |
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气体轴承涡轮分子泵（Maurice） |
10－10 |
1013 |
昂贵 |
对灰尘敏感 |
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磁悬浮涡轮分子泵 |
10－9 |
不能直排大气 |
昂贵 |
对磁场敏感 |
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吸附泵 |
10－3 |
？ |
便宜 |
限于实验用 |
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涡旋泵 |
<1×10－3多级 |
1000～10000 |
昂贵 |
安全可靠（UF6氚） |
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Evrard |
10－2 |
105 |
高 |
抽速和膜片寿命受限 |
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波纹管密封活塞泵 |
50 |
20 |
高 |
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螺杆泵 |
10－2 |
105 |
中等 |
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