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厂家详解干式无油真空泵的原理与类别

点击:56 日期:2019-09-02 选择字号:
  在工业制造信息化、自动化、智能化的升级浪潮中,作为“工业心脏”的泵业与发展环保节能,提升制造产业更加紧密相联,无油干式机械真空泵(又简称干式机械真空泵)特点是对被抽空间没有油蒸汽污染,不喷油,没有油蒸汽从泵口排出,属于环保类产品,被称为二十一世纪“绿色真空泵”。干式无油真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。下面台冠真空泵技术团队工程师们,给大家分享厂家详解干式无油真空泵的原理与类别.希望能够给大家带来帮助.

 干式无油真空泵还有一个明显的能力就是不用水来做介质,与传统的真空设备相比,它可以有效的节约水资源,减少企业的能源消耗,真正使企业的生产更加的环保,并且可以提升企业生产发展的能力。

 无油干式真空泵使工作容积中无油,减少因油而花费的成本。增强了泵的可靠性。干式泵不受到水蒸气或者尘粒的影响,因此它们更耐用,维护工作更少。

干式无油真空泵工作原理
  无油真空泵原理图
  干式无油真空泵它的工作原理和一般容积泵相同,由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子,偏心地安装在定缸内,当转子高速旋转时,转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室,由于离心力作用,旋片紧贴在缸壁,把定子进排出口分离开来,周而复始运转,进行变容,将吸入气体,从排气口排出,从而达到抽气目的。

1) 无油往复真空泵工作原理
  靠活塞往复运动使泵腔(气缸)的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵,又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时,吸气管接被抽真空容器,排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。 
2)无油涡旋真空泵工作原理
   涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中,有两个方向对应的固定涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。
3) 爪式无油真空泵工作原理
爪式真空泵由多级转子构成,其中每级都有2个转子构成,两个转子反方向旋转,吸气口与泵腔接通,泵腔容积变大而吸气,当转子关闭吸气口时吸气结束,以后泵腔变小而压缩气体,当排气口打开后泵腔排气,排气口关闭时则排气完毕,如此循环工作。
4) 干式无油螺杆真空泵工作原理
  干式无油螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
干式真空泵
干式无油真空泵分为下列几种类型:


1)外部压缩型螺杆式
 在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到最小,同时使得气体通路最短也最简单。这样,气体在泵体内停留的时间也最短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。


2)内部压缩型螺杆式
 除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。


3)组合式(罗茨+爪)
  组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。


4)双圆裂片式
  双圆裂片式多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。


5)三叶圆裂片式
  三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
台冠真空泵
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