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无油微型真空泵应用特点

点击:27 日期:2019-09-11 选择字号:
无油微型真空泵应用特点
  微型真空泵系统集成化,不使用电动机驱动,增加了电子控制系统让整个真空泵的控制完全摆脱了人工操作实现了液体传输的精准,真正意义上实现了微型化和智能化产品,所以又被称为电子气泵,微型真空泵。还被称为,微型负压泵, 微型真空泵, 微型气体循环泵,微型气泵,微型气体采样泵,微型打气泵,微型抽气泵,微型抽气打气两用泵等。
  电子半导体行业中的电子加速、光电器件、电子材料、射线管、晶振、继电器、激光、离子注入设备、离子刻蚀机、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、分子束外延设备、集成电路封装、等其他半导体应用设备。均在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,机械手,自动化真空清扫等等键合工序里所需用的真空为(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。部份还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护工件免受污染。 

 微型真空泵寿命长,体积更小,重量更轻,结构更加合理。完全实现了免维护,而且泵内无油,不污真空泵染传输介质,比其他泵符合电子半导体行业要求。

无油真空泵

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