无油微型真空泵应用特点
电子半导体行业中的电子加速、光电器件、电子材料、射线管、晶振、继电器、激光、离子注入设备、离子刻蚀机、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、分子束外延设备、集成电路封装、等其他半导体应用设备。均在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，机械手，自动化真空清扫等等键合工序里所需用的真空为（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。部份还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。
微型真空泵寿命长，体积更小，重量更轻，结构更加合理。完全实现了免维护，而且泵内无油，不污真空泵染传输介质，比其他泵符合电子半导体行业要求。
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